1 上海理工大学光电信息工程与计算机学院，上海 200093
2 上海市计量测试技术研究院，上海 201203
通过对于首层金属膜的 SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度，同时用柱面光与 CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据 CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线，并通过与库内的曲线数据进行匹配而获得膜厚数值。利用该系统对铬钛银铝等常用金属薄膜进行了在线测控研究，得到了纳米级金属薄膜的膜层蒸镀顺序与相应的膜厚测量范围。Metal Films Thickness Based on SPR
表面等离子体振荡 柱面光 多层金属薄膜 在线测量 surface plasma resonance cylindrical light multilayer metal films online measurement
1 上海理工大学光学与电子信息工程学院
2 上海理工大学管理学院,上海 200093
针对光子相关光谱颗粒粒径测量法不能在线测量高浓度超细颗粒的问题,通过分析溶液浓度对光子相关光谱测量法的影响,设计了一种后向散射光路,提出了后向光子相关光谱测量法.实验采用50 nm、100 nm以及500 nm三种标准乳胶球颗粒,在不同的浓度下分别用两种方法进行了测试.结果证明,后向光子相关光谱测量法能有效抑制多重散射的影响,适用于高浓度超细颗粒粒径的在线测量.
高浓度超细颗粒 颗粒测量 光子相关光谱 后向散射 High concentrated particle Particle sizing Photon correlation spectroscopy Back scattering
上海理工大学光学与电子信息工程学院, 上海200093
针对后向动态光散射高浓度颗粒测量中样品池产生的影响, 本文对负球差进行了分析, 提出了采用ZEMAX确定聚焦透镜的光学参数校正球差的方案, 对由于样品池表面反射引起的二次散射进行计算, 提出了削弱二次散射的方法。
光散射 颗粒测量 样品池 球差 light scattering particle sizing sample cell aberration
上海理工大学光学与电子信息工程学院，上海 200093
针对传统动态光散射颗粒测量法测量溶液浓度范围较小的问题，通过模型和实验研究了传统DLS系统双孔结构中测量区大小对测量结果的影响，发现可通过改变测量区大小控制散射体体积，从而扩大测量溶液浓度的范围。并基于传统DLS系统双孔结构光路，通过使用可调狭缝，并增加透镜，扩大了DLS测量溶液浓度范围，实验结果表明了该方法的有效性。
光散射 动态 颗粒测量 浓度 light scattering dynamic particle sizing concentration
State Key Lab. of Precision Measurement Technology and Instrument, Tianjin University, Tianjin 300072, CHN
